真空炈�/a>

• 高温退火炉
• 水平真空气氛炈�/a>
• 垂直真空气氛炈�/a>
• 水平多室真空气氛炈�/a>
• 垂直双室真空气氛炈�/a>
• 水平管式真空炈�/a>

箱式炈�/a>

• 垂直氧化炉�?寷�/a>
• 水平氧化扩散炈�/a>
• 高温氧化炈�/a>
• 科研型扩散炉

粉体焙烧炈�/a>

• 垂直氧化炈�/a>
• 水平氧化扩散�?
• 气氛烧结炈�/a>
• 氢破炈�/a>

气体发生�?气体处理

• 氨分解废气处琅�/a>
• 湿法废气处理

半导体行业专用仪�?/a>

• HVPE气相外延
• 水平LPCVD气相沉积

石墨�?/a>

• 石墨烯LPCVD

其他

• 高压晶体生长