型号９�/span>CX-CFG500　　类型９�/span>薄膜电容真空讠�/p>

　　适用气体９�/span>不限气体种类 　反应时间９�/span>10ms

　　测量范围９�/span>10pa ~1.0×10+5 Pa

　　供电９�/span>24 ±5 VDC /0.5A ；整�?大功�?.0W

　　防护等级９�/span>IP40，IEC529

　　重量９�/span>250g 　　接口９�/span>标准 KF16 法兰

　　接触真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 灯丝, 馈通玻璂�/p>

产品概述

CFG500系列薄膜电容真空规采用双片圆形薄陶瓷片封装成背压恒定的密封腔，当测量面出现真空负压时，陶瓷片呈穹弯型形变，前置陶瓷片与背景陶瓷片间距发生变化导致平行电极间电容发生变化，通过测量电容变化计算电极间距离变化，通过陶瓷弹性形变进而传感出真空压强、�/p>

产品实拍

产品特点

　　高精度测量：±0.25%读数

　　对测量环境气体不敏感

　　抗腐蚀、抗粉尘、抗氧化

　　模拟电压输出�?.0�?10.0VDC

　　RS485 Modbus-RTU数字通讯

　　2路可设置控制开兲�/p>

　　3键智能操� 5位LED数字显示

产品参数

参数	数倻�/span>
测量范围	10pa ~ 1.0×10+5 Pa
测量精度	±0.25 % 读数
测量重复�?/span>	±0. 1% 全量稊�/span>
测量分辨玆�/span>	0.002% 全量稊�/span>
长期稳定�?/span>	每年变化不大于满量程 ±0.5 % （不含环境变化因素）
温度补偿范围	-20º C ~ +80º C, ±0.01 %FS/ º C
工作环境	-10º C ~ +50º C� 5 ~ 85 %,不结霱�/span>
供电电源	+24V（�?0%�?0.5A（适用+5.0VDC�?32VDC（�/span>
电接口插�?/span>	D-Sub 15 Pin，公
真空腔体	接口：DN16ISO-KF（其他可选）�?大承压：1.5×10+5 Pa
重量	250g （DN16ISO-KF法兰（�/span>

产品尺寸

产品优势

　　由于陶瓷材料的形变恢复无迟滞使得陶瓷薄膜电容规获得高稳定、高精度、�/p>

　　由于氧化铝陶瓷与氟系密封件的稳定性使得陶瓷薄膜电容规具有抗腐蚀、抗氧化能力、�/p>

　　由于采用机械形变传感真空压强使得陶瓷薄膜电容规对被测量气体不敏感特点、�/p>

应用场景