设备采用立式模块化设计结构，配备多个检修门，便于腔体独立安装与维护，方便组装和日后升级;配备全封闭式净化料架传送系统，避免工件受到污染;工件可选择单面或双面镀膛�主要用于沉积光学彩膜或金属膜。设备的镀膜室长期保持高真空状态，杂气少，所镀制的膜层纯净度高，折射率奼�配置了全自动Speedfo闭环控制系统，提高膜层沉积速率;工艺参数可追溯，生产过程实现全程监控，方便追踪生产不�?设备自动化程度高，配合机械手使用可衔接上下工序，降低人工成本、�/p>

设备可镀制Nb205、Si02、Ti02、In、Cu、Cr、Ti、SUS、Ag等氧化物及单质金属材料，主要用于金属与光学材料叠加的光学彩膜工艺;适用于玻璃、PC、PET等材质的平面类产品，已广泛应用于PET膜片/复合板、玻璃盖板、显示屏等产品、�/p>