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裂缝耦合微波等离子体沉积系统
报价9span>面议
品牌9/td> 杭州晶驰
产地9/td> 浙江
关注度: 271
型号9/td> 裂缝耦合微波等离子体沉积系统
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产品介绍

该设备为微波等离子化学气相沉积系统(MWCVD)。采?.45GHz频率微波源,激发稳定的等离子体。电场激发模式为TM021模式,该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。通过工艺调节,可以稳定生长出 2 英寸?英寸的金刚石晶圆薄膜、/p>

主要应用领域:半导体衬底、热沉片、珠宝、刀具、机械密封、新一代移动通信、智能电网、消费类电子等、/p>

该设备为微波等离子化学气相沉积系统(MWCVD)。采?.45GHz频率微波源,激发稳定的等离子体。电场激发模式为TM021模式,该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。通过工艺调节,可以稳定生长出 2 英寸?英寸的金刚石晶圆薄膜、/p>

主要应用领域:半导体衬底、热沉片、珠宝、刀具、机械密封、新一代移动通信、智能电网、消费类电子等、/p>


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杭州晶驰机电科技有限公司为您提供杭州晶驰裂缝耦合微波等离子体沉积系统,裂缝耦合微波等离子体沉积系统产地为浙江,属于半导体行业专用仪器,除了裂缝耦合微波等离子体沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供单腔立式外延炉、DRY-60A型热处理炉(电动)、抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
工商信息
企业名称

杭州晶驰机电科技有限公司

企业类型

信用代码

91330109MA2KHL3N6A

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