AMT 系列

工业高功率全系列皮秒激光器

****�?66nm倍频技�?/p>

可靠的功率稳定�?/p>

优越的光束质量（M²<1.3（�/p>

支持SYNC同步输出功能

支持沿触发、电平触发控刵�/p>

高达90%以上的光斑圆�?/p>

概述应用

AMT深紫外皮秒激光器拥有****的四倍频换点功能，能保证换点后光束质量、光斑大小、光束指向性不 变，提高机器稳定性。同时拥有全新设计的光学系统具有可靠的功率稳定�?lt;3%，优越的光束质量（M²<1.3（�/p>

�?*的光斑圆度（>90%�? 可输出深紫外波长266nm，功�?*可达3W以上，实现优异的激光微加工质量、�/p>

AMT-266皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块，如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等，保 证了整机系统的长期可靠性，实现单点寿命大于1000hrs，整机寿命大�?0000hrs；拥有空气洁净系统，可

以对腔内进行清洁维护，延长晶体使用寿命、�/p>

AMT深紫外激光器支持多触发模式可选，具备同步输出功率，内置功率检查模块，是性能与稳定性的**� 合。深紫外激光器广泛应用于蓝宝石GaN分离、无碳化冷加工、玻璃晶粒分离等领域。AMT-266-3W-70M激

光器主要应用�?8nm及以下节点制程的芯片缺陷检测，也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子 材料切割和高密度信息存储等领域、�/p>