全自动晶圆清洗机 AWS150
报价9span>面议
品牌9/td> 佳鼎半导佒/td>
产地9/td> 山东
关注度: 481
型号9/td> 全自动晶圆清洗机 AWS150
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产品介绍

设备描述及主要配?/span>

机台针对 4 寸晶圆后端制程设计,用于单片清洗、/span>

机台为半自动机台,人工将晶圆放置 Chuck 上后,机台自动完成工艺过程,再由人工收回晶圆、/span>

晶圆通过真空吸附 Chuck 上,电机带动晶圆做离心式旋转,同时配合药液完成清洗工艺、/span>


工艺参数

**空载转速: 2000 rpm:/span>

*小调整量?rpm:/span>

转速精度: ±2rpm?0-3000rpm(/span>

颗粒:直径>0.5um,数量<35ea:/span>

正面无沾污、印迹、划伤等外观异常

清洗时间?0s(根据清洗循环次数和效果决定(/span>

全自动晶圆清洗机 AWS150


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

青岛佳鼎半导佒/p>

企业类型

信用代码

91370214583698120T

法人代表

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成立日期

注册资本

有效期限

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