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ASML 二手ArF浸没式光刻机XT:1900Gi

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品牌９�/td>	佳鼎半导佒�/td>
产地９�/td>	山东
关注度：	657
型号９�/td>	ASML 二手ArF浸没式光刻机XT:1900Gi

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产品介绍

TWINSCAN XT:1900Gi Step-and-Scan 系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具，专为 45 纳米及以下分辨率� 300 毫米晶圆批量生产而设计、�/span>

XT�?900Gi采用蔡司星石1900i浸没镜头。这是现有的大型ArF镜头，在1.35NA时，它推动了水基ArF浸入式平版印刷达到极限。结合ASML的Ultra-k1产品组合，它提供了行�?低的可用k1值，它可以实�?0nm及以下的半间距分辨率、�/span>

XT�?900Gi采用新的测量和曝光周期，它为浸入式光刻设定了一个新的基准，每小时生�?31个晶片、�/span>

问商宵�/div>

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企业名称

青岛佳鼎半导佒�/p>

企业类型

信用代码

91370214583698120T

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