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设备DH6A—MPCVD

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品牌９�/td>	德盟牸�/td>
产地９�/td>	陕西
关注度：	427
型号９�/td>	半导体级MPCVD设备

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产品介绍

常规配置及参�?/th>
电源输入:	三相 380V (±10%), 15KVA
微波电源功率:	6KW�?.45GHz（�/td>
样品�?span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">:	8英寸水冷铜台
腔体生长压力:	10-200Torr
气体管路:	标配4路（H2、O2、CH4、N2（�/td>
反应腔体:	卧式蝶形上翻盖金属水冷腔佒�br style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none;"/>（带4个观察窗（�/td>
主机柜尺寷�span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">:	900mm(W)×850mm(D)×1680mm(H) （约320Kg（�/td>
控制柜尺寷�span style="box-sizing: border-box; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; list-style: none; border: 0px; vertical-align: baseline; float: right;">:	570mm(W)×850mm(D)×1800mm(H) （约240Kg（�/td>

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设备DH6A—MPCVD使用的注意事顸�/li>
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企业名称

西安德盟特半导体科技有限公司

企业类型

信用代码

91610131MA6TXP3T9U

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