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团簇式OLED真空蒸镀工艺装备
报价９span>面议
| 品牌９/td> | 鹏城微纳 |
| 产地９/td> | 沈阳 |
| 关注度： | 183 |
| 型号９/td> | 团簇式OLED真空蒸镀工艺装备 |
产品介绍
产品详情
团簇式OLED真空蒸镀工艺装备是自主“OLED真空蒸镀工艺装备”，是“卡脖子”的35项关键技术的第六项。项目技术团队已完成G1(1代线) 和G2.5?.5代线）的研发设计和生产制造、/span>
项目技术团队已经解决了大部分关键技术问题（如：源炉技术、精准对位技术（对位精度达到1.5μm）、精密蒸镀电源技术、原位膜厚测量技术、高真空传递机械手、电控系统及自动化控制软件等）、/span>
公司可对外承接OLED的G1 G2.5工艺线的设计制造、/span>
技术指栆/span>
| 指标 | 参数 |
|---|---|
| 对位精度 | CCD精密对位?.5 υm，机械对位≤150 υm |
| 膜厚均匀性和重复 | ±2% |
| 总体技术路纾/span> | 采用Cluster方案 |
| 工艺流程 | 设计-审核-外协-组装-电气安装-调试-出厂 |
设备构成
应用领域
可广泛用于OLED器件开发、量子点开发、薄膜太阳能电池器件研发、OLED微显示的研发和生产、OLED材料验证、VR（Micro-oled虚拟现实）、OLED照明等、/span>
问商宵/div>
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供应产品
鹏城微纳技术（沈阳）有限公司为您提供鹏城微纳团簇式OLED真空蒸镀工艺装备，团簇式OLED真空蒸镀工艺装备产地为沈阳，属于半导体行业专用仪器，除了团簇式OLED真空蒸镀工艺装备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供HFCVD 热丝化学气相沉积设备、分子束外延薄膜生长设备(MBE)、化合物半导体
工商信息
企业名称
鹏城微纳技术（沈阳）有限公号/p>
企业类型
信用代码
91210104MA7LH39L93
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
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