MOCVD 金属有机化学气相沉积设备
报价9span>面议
品牌9/td> | 鹏城微纳 |
产地9/td> | 沈阳 |
关注度: | 176 |
型号9/td> | MOCVD 金属有机化学气相沉积设备 |
产品介绍
产品详情
MOCVD 金属有机化学气相沉积设备
可用于GaN、ZnO等的外延生长、/span>
材料的输运采取了超纯的气路系统,源的切换和输入采用了多路组合阀进气技术。由于组合阀具有极小的死空间,使得源的残留量非常少,有利于生长具有陡峭界面的材料、/span>
采用压差控制技术控制组合阀的旁路和主路之间的压力,大大降低了源的压力和浓度波动,有利于材料生长的重复性和稳定性、/span>
采用了管道镶嵌式进气喷头,使反应源在衬底表面均匀混合并反应,大大降低了预反应的发生、/span>
采用电阻式快速升降温加热炉、/p>
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工商信息
企业名称
鹏城微纳技术(沈阳)有限公号/p>
企业类型
信用代码
91210104MA7LH39L93
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
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