产品详情

HFCVD 热丝化学气相沉积设备（热丝CVD金刚石设备）-（生产型、实验型（�/span>

研发设计制造了热丝 CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类、�/spanyes';font-family:微软雅黑;color:rgb(0,0,0);letter-spacing:0.0000pt;text-transform:none;font-style:normal;font-size:13.5000pt;mso-font-kerning:0.0000pt;background:rgb(255,255,255);mso-shading:rgb(255,255,255);">

设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产、�/span>

可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉、�/span>

可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品、�/span>

可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备、�/span>

可用于太阳能薄膜电池的研发与生产、�/span>

工件尺寸

圆形平面工作的尺寸：**φ600mm、�/span>

矩形工作尺寸的宽�?000mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1500mm）、�br style="box-sizing: border-box;border-width: 0px;border-style: solid;border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity));--tw-translate-x: 0;--tw-translate-y: 0;--tw-rotate: 0;--tw-skew-x: 0;--tw-skew-y: 0;--tw-scale-x: 1;--tw-scale-y: 1;--tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y));--tw-border-opacity: 1;--tw-ring-inset: var(--tw-empty);--tw-ring-offset-width: 0px;--tw-ring-offset-color: #fff;--tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5);--tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000;--tw-ring-shadow: 0 0 #0000;--tw-shadow: 0 0 #0000;--tw-blur: var(--tw-empty);--tw-brightness: var(--tw-empty);--tw-contrast: var(--tw-empty);--tw-grayscale: var(--tw-empty);--tw-hue-rotate: var(--tw-empty);--tw-invert: var(--tw-empty);--tw-saturate: var(--tw-empty);--tw-sepia: var(--tw-empty);--tw-drop-shadow: var(--tw-empty);--tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow);--tw-backdrop-blur: var(--tw-empty);--tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty);--tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty);--tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty);--tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty);--tw-backdrop-invert: var(--tw-empty);--tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty);--tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty);--tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty);--tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia)"/>

配置氳�/span>冶�span style="box-sizing: border-box;border-width: 0px;border-style: solid;border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity));--tw-translate-x: 0;--tw-translate-y: 0;--tw-rotate: 0;--tw-skew-x: 0;--tw-skew-y: 0;--tw-scale-x: 1;--tw-scale-y: 1;--tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y));--tw-border-opacity: 1;--tw-ring-inset: var(--tw-empty);--tw-ring-offset-width: 0px;--tw-ring-offset-color: #fff;--tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5);--tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000;--tw-ring-shadow: 0 0 #0000;--tw-shadow: 0 0 #0000;--tw-blur: var(--tw-empty);--tw-brightness: var(--tw-empty);--tw-contrast: var(--tw-empty);--tw-grayscale: var(--tw-empty);--tw-hue-rotate: var(--tw-empty);--tw-invert: var(--tw-empty);--tw-saturate: var(--tw-empty);--tw-sepia: var(--tw-empty);--tw-drop-shadow: var(--tw-empty);--tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow);--tw-backdrop-blur: var(--tw-empty);--tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty);--tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty);--tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty);--tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty);--tw-backdrop-invert: var(--tw-empty);--tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty);--tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty);--tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty);--tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);font-style: inherit;font-weight: inherit;font-family: 微软雅黑">样品台、�/span>

可单面镀膜也可双面镀膜、�/span>

金刚石薄膜生产线

热丝电源功率

可达300KW�?KW �?00KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围）

设备安全�?/span>

-电力系统的检测与保护

-设置真空检测与报警保护功能

-冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护

-设置水压检测与报警保护装置

-设置水流检测报警装�?/span>

热丝CVD金刚石设夆�/p>

设备构成

真空室构戏�/span>

双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩�?前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定、�/span>

热丝

热丝材料：钽丝、或钨丝

热丝温度�?800℃～ 2500�?nbsp;可调

样品�?/span>

可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距�? � 100mm范围内可调），要求升降平�?上下波动不大�?.1mm、�/span>

工作气路（CVD（�/span>

工作气路根据用户工艺要求配置９�/span>

下面气体配置是某一用户的配置案例、�/span>

H2(5000sccm，浓�?00%)

CH4(200sccm，浓�?00%)

B2H6�?0sccm，H2浓度99%（�/span>

Ar(1000sccm，浓�?00%)

真空获得及测量系绞�/span>

控制系统及软仵�/span>