产品详情

高真空磁控溅射仪（磁控溅射镀膜机（�span style="font-size: 16px; box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia); font-style: inherit; font-weight: inherit; font-family: 微软雅黑;">是用磁控溅射的方法，制备金属、合金、化合物、半导体、陶瓷、介质复合膜及其它化学反应膜等；适用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系及合金膜；可镀制磁性材料和非磁性材料、�/span>

设备关键技术特炸�br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

秉承设备为工艺实现提供实现手段的理念，我们做了如下设计和工程实现，实际运行效果良好，为用户的专用工艺实现提供了精准的工艺设备方案、�br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

靶材背面和溅射靶表面的结合处琅�br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

-靶材和靶面直接做到面接触是很难的，如果做不到面接触，接触电阻将增大，导致离化电场的幅值不够（接触电阻增大，接触面的电场分压增大），导致镀膜效果不好；电阻增大导致靶材发热升温，降低镀膜质量、�/span>

-靶材和靶面接触不良，导致水冷效果不好，降低镀膜质量、�/span>

-增加一层特殊导电导热的软薄的物质，保证面接触、�/span>

距离可调敳�br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

基片和靶材之间的距离可调整，以适应不同靶材的成膜工艺的距离要求、�/span>

角度可调

磁控溅射靶头可调角度，以便针对不同尺寸基片的均匀性，做精准调控、�/span>

集成一体化柜式结构

一体化柜式结构优点９�/span>

安全性好（操作者不会触碰到高压部件和旋转部件）

占地面积小，尺寸约为：长1100mm×�?80mm（标准办公室门是800mm宽）（传统设备大约为2200mm×1000mm），相同面积的工作场地，可以放两台设备、�/span>

控制系统

采用计算机＋PLC两级控制系统

安全�?br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

-电力系统的检测与保护

-设置真空检测与报警保护功能

-温度检测与报警保护

-冷却循环水系统的压力检测和流量

-检测与报警保护

匀气技�?br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

工艺气体采用匀气技术，气场更均匀，镀膜更均匀、�/span>

基片加热技�?/span>

采用铠装加热丝，由于通电加热的金属丝不暴露在真空室内，所以高温加热过程中不释放杂质物质，保证薄膜的纯净度。铠装加热丝放入均温器里，保证温常的均匀，然后再对基片加热、�/span>

真空度更高、抽速更�?br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

真空室内外，全部电化学抛光，完全去除表面微观毛刺丛林（在显微镜下可见），没有微观藏污纳垢的地方，腔体内表面积减少一倍以上，镀膜更纯净，真空度更高，抽速更快、�/span>

高真空磁控溅射仪（磁控溅射镀膜机（�span style="font-family: 微软雅黑, "Microsoft YaHei"; font-size: 16px; box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia); color: rgb(54, 54, 54); font-weight: 700;">设备详情

设备结构及性能

1、单镀膜室、双镀膜室、单镀膜室＋进样室、镀膜室+手套箰�/span>

2、磁控溅射靶数量及类型：1 � 6 靶，圆形平面靶、矩形靶3、靶的安装位置：由下向上、由上向下、斜向、侧向安裄�/span>

3、靶的安装位置：由下向上、由上向下、斜向、侧向安裄�/span>

4、磁控溅射靶：射频、中频、直流脉冲、直流兼宸�/span>

5、基片可旋转、可加热

6、通入反应气体，可进行反应溅射镀�?、操作方式：手动、半自动、全自动

7、样品传递采用折叠式超高真空机械扊�br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

工作条件

类型	参数	备注
供电	�?nbsp;380V	三相五线刵�/span>
功率	根据设备规模配置
冷却水循�?/span>	根据设备规模配置
水压	1.0� 1.5×10^5Pa
制冷野�/span>	根据散热量配�?/span>
水温	18�?5ℂ�/span>
气动部件供气压力	0.5�?.7MPa
质量流量控制器供气压劚�/span>	0.05�?.2MPa
工作环境温度	10℃～40ℂ�/span>
工作湿度	�?0%

设备主要技术指栆�br style="box-sizing: border-box; border-width: 0px; border-style: solid; border-color: rgba(229, 231, 235, var(--tw-border-opacity)); --tw-translate-x: 0; --tw-translate-y: 0; --tw-rotate: 0; --tw-skew-x: 0; --tw-skew-y: 0; --tw-scale-x: 1; --tw-scale-y: 1; --tw-transform: translateX(var(--tw-translate-x)) translateY(var(--tw-translate-y)) rotate(var(--tw-rotate)) skewX(var(--tw-skew-x)) skewY(var(--tw-skew-y)) scaleX(var(--tw-scale-x)) scaleY(var(--tw-scale-y)); --tw-border-opacity: 1; --tw-ring-inset: var(--tw-empty); --tw-ring-offset-width: 0px; --tw-ring-offset-color: #fff; --tw-ring-color: rgba(59, 130, 246, 0.5); --tw-ring-offset-shadow: 0 0 #0000; --tw-ring-shadow: 0 0 #0000; --tw-shadow: 0 0 #0000; --tw-blur: var(--tw-empty); --tw-brightness: var(--tw-empty); --tw-contrast: var(--tw-empty); --tw-grayscale: var(--tw-empty); --tw-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-invert: var(--tw-empty); --tw-saturate: var(--tw-empty); --tw-sepia: var(--tw-empty); --tw-drop-shadow: var(--tw-empty); --tw-filter: var(--tw-blur) var(--tw-brightness) var(--tw-contrast) var(--tw-grayscale) var(--tw-hue-rotate) var(--tw-invert) var(--tw-saturate) var(--tw-sepia) var(--tw-drop-shadow); --tw-backdrop-blur: var(--tw-empty); --tw-backdrop-brightness: var(--tw-empty); --tw-backdrop-contrast: var(--tw-empty); --tw-backdrop-grayscale: var(--tw-empty); --tw-backdrop-hue-rotate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-invert: var(--tw-empty); --tw-backdrop-opacity: var(--tw-empty); --tw-backdrop-saturate: var(--tw-empty); --tw-backdrop-sepia: var(--tw-empty); --tw-backdrop-filter: var(--tw-backdrop-blur) var(--tw-backdrop-brightness) var(--tw-backdrop-contrast) var(--tw-backdrop-grayscale) var(--tw-backdrop-hue-rotate) var(--tw-backdrop-invert) var(--tw-backdrop-opacity) var(--tw-backdrop-saturate) var(--tw-backdrop-sepia);"/>

-基片托架：根据供件大小配置、�/span>

-基片加热器温度：根据用户供应要求配置，温度可用电脑编程控制，可控可调、�/span>

-基片架公转速度 �? �?00 � / 分钟，可控可调；基片自转速度９�/span>2 �?0 � / 分钟、�/span>

-基片架可加热、可旋转、可升降、�/span>

-靶面到基片距离： 30 � 140mm 可调、�/span>

-Φ2 ～�? 英寸平面圆形� 2 � 3 支，配气动靶控板，靶可摆头调角度、�/span>

-镀膜室的极限真空：6X10-5Pa，恢复工作背景真�?nbsp;7X10-4Pa �?0 分钟左右（新设备充干燥氮气）、�/span>

-设备总体漏放率：关机 12 小时真空度≤10Pa、�/span>