产品介绍Product Introduction

NIM型真空紫外光谱仪，采用Seya- Namioka光路结构，入射狭缝和CCD探测器位于罗兰圆上，可以单色模式和光谱模式切�?nbsp;、�/p>

产品特点/ CHARACTERISTIC

� 波⻓范围较宽

� 在线精密可调狭缝

� 可扩展空间维聚焦

� 可进⾏系统集成服加�/p>

� 结构紧凑集成度⾼

� ⾼真空兼容�?/p>

主要参数/ PARAMETERS

●光栅类型： 球⾯光栅

� 波⻓范围� 80nm~200nm

� 光谱分辨率： 0.16nm@167nm

� 波⻓精度� 根据需求设讠�/p>

� 探测器类型： 科研级相朹�/p>

� 狭缝宽度� 0.01~3mm在线连续可调

测试数据/TEST DATA