LPCVD 卧式
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品牌9/td> 山东力冠
产地9/td> 山东
关注度: 429
型号9/td> LPCVD 卧式
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产品介绍

概要9/p>

LPCVD设备是半导体集成电路制造的重要设备之一 主要用于多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜的生?它是将原材料气体(或者液态源气化)用热能激活发生化学反应而在基片表面生成固体薄膜,LPCVD过程是在低压下进行的,由于气压低,气体分子平均自由程大,使生长的薄膜均匀性好,此外基片可以竖放使得设备装片量大,特别适用于工业化生产


问商宵/div>
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  • LPCVD 卧式使用的注意事顸/li>
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山东力冠微电子装备有限公司为您提供山东力冠LPCVD 卧式,LPCVD 卧式产地为山东,属于半导体行业专用仪器,除了LPCVD 卧式的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 卧式、PECVD 设备 卧式、LPE外延炉
工商信息
企业名称

山东力冠微电子装备有限公号/p>

企业类型

信用代码

91370105597048698M

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