SiC籽晶粘接设备
报价9span>面议
品牌9/td> 山东力冠
产地9/td> 山东
关注度: 389
型号9/td> SiC籽晶粘接设备
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产品介绍

产品概述/Product Introduction9/span>

籽晶的粘接工艺技术是将SiC籽晶通过有机胶粘接在石墨纸上。提高籽晶粘接质量是保证高品质SiC晶体生长的首要前提、/p>

The bonding technology of seed crystal is to bond SiC seed crystal to graphite paper through organic adhesive. Improving the bonding quality of seed crystal is the first prerequisite to ensure the growth of high-quality SiC crystal. .

技术指?Technical Indicators9/span>

晶圆尺寸: 6-8英寸

Wafer size: 6-8 inches

温度350-1000°C,温度均匀性土3°C

Temperature 350 1000°C, temperature uniformity 3°C

压力:**1-2万KN,力均匀?lt;?%

Pressure: Maximum 1-20,000 KN, Force Uniformity

真空??0Pa

Vacuum degree:?0Pa

压头:柔性压?硬性压夳/p>

Indenter: Flexible indenter/rigid indenter



问商宵/div>
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山东力冠微电子装备有限公司为您提供山东力冠SiC籽晶粘接设备,SiC籽晶粘接设备产地为山东,属于半导体行业专用仪器,除了SiC籽晶粘接设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供氮化镓(GaN)HVPE单晶生长设备 卧式、PECVD 设备 卧式、LPE外延炉
工商信息
企业名称

山东力冠微电子装备有限公号/p>

企业类型

信用代码

91370105597048698M

法人代表

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成立日期

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