ALICAT 气体质量流量�?便携� 62/62A系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，优�?%的精度，测量范围广，优于10ms响应时间

产品特色

� 续航时间�?nbsp;18小时

� 数字化产�?/span>

� 主体材质可选铝，更优越的导热性能和便携�?/span>

� 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

� 可选高精度：可优于0.5%读数

� 可测范围广，0.01~100%满量稊�/span>

� 响应时间快，优于10ms

� 内置98种气佒�/span>

� 可现场标定混合气体（*�?种成分），并存储20种混合气

精度升级

量程�?.5 SCCM - 6000 SLPM＋�/span>

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级９�/span>

质量流量普通精�?nbsp; ± 0.6% 读数或� 0.1% 满量程（�?*值）

质量流量高精�?nbsp; ± 0.5% 读数或� 0.1% 满量程（�?*值）

重复�?nbsp; ±�?.1% 读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移 ± 0.01%满量�? ℃温�?/span>

± 0.01%满量�? Atm压力�?/span>

质量流量量程漂移 ± 0.01%� �? ℃温�?/span>

± 0.1 %� �? Atm压力�?/span>