HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统
报价9span>面议
品牌9/td> 沃特塞恩
产地9/td> 四川
关注度: 233
型号9/td> HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统
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产品介绍

技术参?/strong>

?(/td> 型号 HMPS-2080SP
?(/td> 电源 AC380±10% V 三相五线 50Hz,额定输入<18KVA
?(/td> 微波输出功率 0.1~8kW 连续可调
?(/td> 功率稳定?/td> 1%(@稳态)
?(/td> 纹波 ?%
?(/td> 微波频率 2450MHz±50MHz
?(/td> 测温方式 红外300~1400ℂ/td>
?(/td> 极限真空?/td> ?.7×10-3Torr
?(/td> 工作压力 5torr~225torr
?0(/td> 放电匹/td> Φ?0mm
?1(/td> 均匀沉积匹/td> ?8mm
?2(/td> 工作气体

H2 /CH4 /N2 /O2 或CO2 或Ar ,可扩展为5?/p>

?3(/td> 氦质谱真空漏玆/td> ?.0×10-9Pa·m3/s:/span>
?4(/td> 工作环境 温度15-40℃,相对湿度?0%,无腐蚀性气佒/td>


问商宵/div>
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成都沃特塞恩电子技术有限公司为您提供沃特塞恩HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统,HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统产地为四川,属于半导体行业专用仪器,除了HMPS-2080SP微波等离子体(CVD)系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供DM-8000微波等离子体CVD设备、WSPS-2450-10k-CEWG分体式固态微波功率源、红外(1064nm)激光系统
工商信息
企业名称

成都沃特塞恩电子技术有限公号/p>

企业类型

信用代码

91510100327517669B

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