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UP-510 碟形腔式MPCVD设备

报价９�span>面议

品牌９�/td>	优普莰�/td>
产地９�/td>	广东
关注度：	456
型号９�/td>	UP-510 碟形腔式MPCVD设备

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产品介绍

UP-510系列碟形腔式MPCVD设备设计先进，性能可靠。硬件配置稳定可靠，软件系统集成度高，易于操作。沉积面�?*可达3英寸，生产效率高，适合于生长大面积金刚石薄膜，也可用于单晶多晶金刚石的大批量生产、�/p>

1.大功率微波系绞�/strong>
微波频率	2450±25MHz
输出功率	0.6kw~10kw 连续可调
微波泄漏	离设� 5cm 处，微波泄漏� 2 mw/cm2
2.真空系统
工作气压范围	10~300Torr
自动稳压范围	40~250Torr
真空泴�/span>	4.4L/s 旋片式真空泵
系统漏率	<1x10-9Pa*m3/s (通过氦质谱检漏仪检�?
腔体保压能力	� 24 小时压升小于 0.5 Torr
本底极限真空	1Pa
3.真空反应腔及基片�?/strong>
反应腔材料及结构	碟形不锈钢反应腔
观察窗口	四个 CF 端口� 90°分布、�/span>
测温窗口	四个 CF 端口� 90°分布、�/span>
自动控制上盖开兲�/span>
钼基片台直径	**150mm，建议直径范� 60mm ~75mm
样品台可上下移动
4.气路
系统自带四路 MFC
选用日本进口流量计及流量控制阀
5.测温系统
选用德国品牌红外测温，范围：300~1300 摄氏�?/span>
6.软件
配置 PLC 控制� 15“触摸显示屏，用户操作界面友好，所有操作均可在触摸屏上完成
自带缺水，缺气，电源缺相，火球跳变，过温过载，打火等自动保护
生产流程通过工艺配方自动控制,可设置多达十套工艺配斸�/span>
系统自带全自动抽气，点火，升温，降温等预设流程，用户操作简侾�/span>
全自动温度控制，气压控制，极大减轻系统操作员的工作量

问商宵�/div>

UP-510 碟形腔式MPCVD设备的工作原理介绍？
UP-510 碟形腔式MPCVD设备的使用方法？
UP-510 碟形腔式MPCVD设备多少钱一台？
UP-510 碟形腔式MPCVD设备使用的注意事顸�/li>
UP-510 碟形腔式MPCVD设备的说明书有吗＞�/li>
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工商信息

企业名称

深圳优普莱等离子体技术有限公号�/p>

企业类型

信用代码

91440300MA5DK25127

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