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W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系绞/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 铂世先/td>
产地9/td> 上海
关注度: 387
型号9/td> W-380A-10K 微波等离子化学气相沉积系绞/td>
产品介绍
系统特点9/span>
·采用方位换向对称方式微波耦合,来提高微波的均匀?/span>
·稳定沉积面积44cm2/80cm2
·**功率达到8KW/10KW
·使用纯净的石英窗
·采用特殊铝合金反应腔,能耐高温(碟形(/span>
·高压力控制,产生高密度多模式等离子体(碟形)
·使用高精度气体质量流量计,高可靠性稳定的压力控制系统
·稳定的微波输?/span>



设备的优势:
·反应可控,能长时间稳定工作在8KW/10KW
·所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染
·参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地
·采用高效散热的样品台?*散热能力可达20KW以上
·高效率微波利用率,氢等离子体直接作用于样品台加热时效率可辽span class="font7">75%以上
·高可靠性,高实验重复性,高设备耐久?/td>
·简捷的人机交互界面




应用9/span>
·宝石
·复合热沉牆/td>
·精密加工刀具刀夳/td>
·红外光学窗口
·半导体wafer
·生物电极


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

上海铂世光半导体科技有限公司

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91310000MA1JNUTF04

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