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超高真空管道传输设备
报价9span>面议
品牌9/td> 致真精密
产地9/td> 安徽
关注度: 642
型号9/td> 超高真空管道传输设备
核心参数

工作原理9span>其他

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产品介绍

生产型磁控溅射设备是针对生产企业实验室和产线研发的一系列高性能、高效率的磁控溅射装备。MSI-200型磁控溅射设备采用多个真空腔室互联的设计,通过Cluster内置的三维机械手实现晶圆的传输,可搭配多个溅射室或处理腔室,适用于生产产线或实验线、/p>

性能参数

晶圆尺寸

8吋向下兼宸/td>
极限真空 优于5×10-10mbar
对接叢/td> 每节管道可连接一套系统,对接口CF250及以下、/td>
传输装置 磁力传输,可同时传输多片
进样宣/td> 可选配独立进样宣/td>
校准装置 光电传感?/td>
真空系统 机械?分子泵,可选离子泵筈/td>

控制系统

PC+PLC
安全互锁,碰撞保?真空互锁筈/td>


问商宵/div>
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  • 超高真空管道传输设备的使用方法?
  • 超高真空管道传输设备多少钱一台?
  • 超高真空管道传输设备使用的注意事顸/li>
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  • 超高真空管道传输设备的报价含票含运费吗?
  • 超高真空管道传输设备有现货吗>/li>
  • 超高真空管道传输设备包安装吗>/li>
合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密超高真空管道传输设备,超高真空管道传输设备产地为安徽,属于真空输送设备,除了超高真空管道传输设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、真空退火炉—VF-200
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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