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晶圆真空传输平台—VTM
报价9span>面议
品牌9/td> 致真精密
产地9/td> 安徽
关注度: 851
型号9/td> 晶圆真空传输平台—VTM
核心参数

工作原理9span>其他

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产品介绍

晶圆真空传输平台采用四边形、六边形或八边形设计,可以实现多个工艺室的互联,系统可选配机械臂和校准装置,可实现8?2吋晶圆的自动传输。系统搭配控制软件可实现安全可靠的控制、/p>

性能参数

晶圆尺寸

8?2吊/td>
极限真空 优于5×10-7mbar
前端模块 可选EFEM筈/td>
对接叢/td> 四个,六个,八个(可实现多套互联(/td>
机械臁/td> 可选单臂和双臂,定位精度?.1mm
校准装置 对准器,校准传感?/td>
真空系统 机械?分子泵,可选离子泵筈/td>
控制系统 PC+PLC
安全互锁,碰撞保?真空互锁筈/td>
标准 SEMI


问商宵/div>
  • 晶圆真空传输平台—VTM的工作原理介绍?
  • 晶圆真空传输平台—VTM的使用方法?
  • 晶圆真空传输平台—VTM多少钱一台?
  • 晶圆真空传输平台—VTM使用的注意事顸/li>
  • 晶圆真空传输平台—VTM的说明书有吗>/li>
  • 晶圆真空传输平台—VTM的操作规程有吗?
  • 晶圆真空传输平台—VTM的报价含票含运费吗?
  • 晶圆真空传输平台—VTM有现货吗>/li>
  • 晶圆真空传输平台—VTM包安装吗>/li>
合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密晶圆真空传输平台—VTM,晶圆真空传输平台—VTM产地为安徽,属于真空输送设备,除了晶圆真空传输平台—VTM的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700、超高真空管道传输设备
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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