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电子束蒸发设备—E-Beam-HV

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品牌９�/td>	致真精密
产地９�/td>	安徽
关注度：	473
型号９�/td>	电子束蒸发设备—E-Beam-HV

展位推荐

晶圆真空传输平台—VTM

蒸发溏�/p>

超高真空管道传输设备

产品介绍

电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗，可用于超导量子等领域，适用于高校及企业研发和小规模生产场合、�/p>

性能参数

晶圆尺寸	4inch~8inch
极限真空	优于1×10-7mbar
温控	RT-800ℂ�/td>
电子束枪	多坩埚旋转电子束枪，可选配坩埚数量和容量（标配�?0KW�?×20cc（�/td>

六大特色懂你所需

企业/高校性能之逈�/span>

测试案列

随着超导量子计算的发展，高校实验室和企业对于超导量子电路的核心器件——约瑟夫森结有着极高的制备要求。该设备可专门用于制备Al基、Nb基等各类约瑟夫森结，以下是制备的约瑟夫森结的光学照像、�/p>

约瑟夫森结的光学图像

温度测试

下图是加热台温度测试图，加热台可以实�?*800摄氏度的晶圆加热，并且电子束蒸发过程中温升较低，满足不同材料的沉积需求、�/p>

问商宵�/div>

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电子束蒸发设备—E-Beam-HV的使用方法？
电子束蒸发设备—E-Beam-HV多少钱一台？
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电子束蒸发设备—E-Beam-HV的操作规程有吗？
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工商信息

企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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