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电子束蒸发设备—E-Beam-UHV

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品牌９�/td>	致真精密
产地９�/td>	安徽
关注度：	445
型号９�/td>	电子束蒸发设备—E-Beam-UHV

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晶圆真空传输平台—VTM

蒸发溏�/p>

超高真空管道传输设备

产品介绍

电子束蒸发设备可以在高真空和超高真空环境下实现精确的多层薄膜制备。线性电子束枪可以实现多种材料的蒸发。设备可选配考夫曼离子源实现晶圆的预清洗，可用于超导量子等领域，适用于高校及企业研发和小规模生产场合、�/p>

性能参数

晶圆尺寸	4inch~8inch
极限真空	优于1×10-9mbar
温控	RT-800ℂ�/td>
电子束枪	超高真空线性运动电子束枪，可选配坩埚数量和容量（标配�?0KW�?×15cc（�/td>
晶圆清洗	可选配考夫曼离子源实现晶圆清洗
清洗均匀�?/td>	例：4inch晶圆优于±3%
控制系统	PC+PLC，全自动操作与安全互�?/td>
样品�?/td>	180度倾斜�?60度旋转，可选升降与偏压
膜厚测量	膜厚仪，可伸�?/td>
占地面积	3m L2m W2m H
可逈�/td>	低温泵、自动传输、工艺菜单等

问商宵�/div>

电子束蒸发设备—E-Beam-UHV的工作原理介绍？
电子束蒸发设备—E-Beam-UHV的使用方法？
电子束蒸发设备—E-Beam-UHV多少钱一台？
电子束蒸发设备—E-Beam-UHV使用的注意事顸�/li>
电子束蒸发设备—E-Beam-UHV的说明书有吗＞�/li>
电子束蒸发设备—E-Beam-UHV的操作规程有吗？
电子束蒸发设备—E-Beam-UHV的报价含票含运费吗？
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电子束蒸发设备—E-Beam-UHV包安装吗＞�/li>

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工商信息

企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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