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真空退火炉—VF-200

报价９�span>面议

品牌９�/td>	致真精密
产地９�/td>	安徽
关注度：	587
型号９�/td>	真空退火炉—VF-200

核心参数

非金属电热元件：其他

金属电热元件９�span>其他

烧结气氛９�span>氧气

温控精度９�span>RT-1200℃，精度±1ℂ�/span>

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产品介绍

真空退火炉是改善薄膜质量的有效手段，在特殊气体氛围下加热还可以改善薄膜的组分。VF-200是致真设备公司推出的一款标准型退火炉，可与公司其他工艺腔体互联实现薄膜的原位退火，也可以单独使用。还可以选配磁铁模块实现对磁性薄膜的诱导，系统搭配控制软件，运行稳定可靠!

性能参数

晶圆尺寸	1inch-8inch
极限真空	5×10-8mbar
温控	RT-1200℃，精度±1ℂ�/p>
加热方式	SIC辐射加热
气体氛围	可在O2等环境下加热
互联	可与工艺腔体互联实现自动传输
真空系统	机械�?分子泴�/p>
可逈�/p>	磁铁模块、进样室、气氛退火等

问商宵�/div>

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工商信息

企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

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