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科研级磁控溅射设备—MS-400
报价9span>面议
品牌9/td> 致真精密
产地9/td> 安徽
关注度: 526
型号9/td> 科研级磁控溅射设备—MS-400
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产品介绍

MS-400磁控溅射设备是一款多功能多靶磁控溅射系统,具有超高真空,单原子层沉积精度,设备维护简单的特点。MS-400系统标配6?inch共焦超高真空阴极,满足实验室或企业实验室中工艺研究的需求,维护简单,运行稳定、/p>

性能参数

晶圆尺寸

4inch向下兼容

镀膜均匀?/p>

优于±2%

极限真空

优于1×10-9mbar(金属密封)

优于1×10-8mbar(胶圈密封)

温控

RT-800℃,可?*1200ℂ/p>

阴极数量

6~7?inch,共焦溅尃/td>

客户案例1

通过本MS-400科研级磁控溅射,制备了具有强PMA的Mo基结构的单自由层和双自由层MTJ磁隧道结薄膜、/p>


问商宵/div>
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合肥致真精密设备有限公司为您提供致真精密科研级磁控溅射设备—MS-400,科研级磁控溅射设备—MS-400产地为安徽,属于半导体行业专用仪器,除了科研级磁控溅射设备—MS-400的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供晶圆真空传输平台—VTM、蒸发源、科研级磁控溅射设备—MS-700
工商信息
企业名称

合肥致真精密设备有限公司

企业类型

信用代码

91340100MA8LHUWE33

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注册资本

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