高真空硬碳膜制备系统--FHL600
报价9span>面议
品牌9/td> | 沈阳科学仪器 |
产地9/td> | 辽宁 |
关注度: | 416 |
型号9/td> | 高真空硬碳膜制备系统--FHL600 |
产品介绍
真空室结枃
圆筒形上升盖
真空室尺寷
φ600×500mm
极限真空?
?.0E-4Pa
沉积溏
样品尺寸,温?
φ240mm?片,水冷即/p>
占地面积(长x宽x高):
?米?.1米x2籲/p>
电控描述:
全自?/p>
工艺:
提供标准镀膜工艹/p>
特色参数 :
1路工作气路,2路备用气?/p>
产品概述9/span>
本系统为单室立式结构的高真空镀镀膜设备,可用于开发单层膜-类金刚石膜等。系统主要由镀膜室、靶电极、射频电源、样品转台、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统、加热控温系统、水冷却系统等组成、/span>
设备用途:
可用于开发类金刚石膜筈/span>
问商宵/div>
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工商信息
企业名称
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公号/p>
企业类型
信用代码
912101004105812660
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
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