高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系?-PLD300
报价9span>面议
品牌9/td> | 沈阳科学仪器 |
产地9/td> | 辽宁 |
关注度: | 323 |
型号9/td> | 高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系?-PLD300 |
产品介绍
占地面积(长x宽x高):
?.8米x0.97米x1.9籲/p>
电控描述:
全自?/p>
工艺:
片内膜厚均匀性:≤?%
产品概述9/span>
系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成、/span>
设备用途:
用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研、/span>
问商宵/div>
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工商信息
企业名称
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公号/p>
企业类型
信用代码
912101004105812660
法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
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