高真空磁控溅射薄膜沉积系?-PVD400
报价9span>面议
品牌9/td> 沈阳科学仪器
产地9/td> 辽宁
关注度: 327
型号9/td> 高真空磁控溅射薄膜沉积系?-PVD400
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产品介绍

真空室结枃

方形前开?/p>

真空室尺寷

φ400x400x400mm

极限真空?

?.6E-5Pa

沉积溏

永磁?套,φ2英寸

样品尺寸,温?

φ4英寸?片,**800ℂ/p>

占地面积(长x宽x高):

?.8米?.7米?籲/p>

电控描述:

全自?/p>

工艺:

片内膜厚均匀性:≤?%


问商宵/div>
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工商信息
企业名称

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公号/p>

企业类型

信用代码

912101004105812660

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注册地址

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