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CMP 抛光朹ü/div>
报价9üspan>é¢è®®
å“牌9ü/td> 铼铂机电
产地9ü/td> 江è‹
关注度: 468
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产å“介ç»

主è¦æŠ€æœ¯å‚数:. åŒå·¥ä½ï¼Œå¯åŒæ—¶æŠ›å…‰ä¸¤ä¸?英寸晶圆,定制ä¸åŒçš„æŠå…‰å¤´ï¼Œå¯å…¼å®¹6寸ã€?寸ã€?寸或更å°å°ºå¯¸æ™¶åœ†çš„抛光;.具有定时功能,设定抛光工作时间,到点自动åœæœºï¼.盘é€?-200rpm,缓å¯ç¼“åœï¼Œé€šè¿‡è§¦æŽ§æ˜¾ç¤ºç•Œé¢è®¾å®šå‚数控制转速,抛光盘具有水冷功能,能精确控制盘温;.é…置两个蠕动泵,å¯ç²¾ç¡®æŽ§åˆ¶é€æ–™å‡åŒ€åº¦ï¼›.抛光头转é€?-200rpmå¯è°ƒï¼›æ‘†åŠ¨å¹…度Â?0mmå¯è°ƒï¼ŒæŠ›å…‰å¤´é€šè¿‡åŽ‹ç¼©ç©ºæ°”加压,0-5barå¯è°ƒï¼Œæ ¹æ®éœ€è¦å¯å®šåˆ¶2区或3区ã€?区抛光头,ä¸åŒåŒºä½å¯è°ƒèŠ‚ä¸åŒåŽ‹åŠ›;.抛光工艺å¯ä»¥å‚¨å­˜ï¼Œå·¥è‰ºå¯ä¿æŒä¸€è‡´æ€§å’Œé‡å¤æ€?/span>

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