籽晶驱动单位
提升速度� 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
转速： 0-50 rpm

厂务要求
电源电压�?80 V±10%
频率�?0 Hz
加热功率�?50 KW预留双加热器
环境温度�?~40
相对湿度：＜70%
入口�?*水温�?5ℂ�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>*小流量：350 L/min
入口出口压力差：�?.5kg/cm²
主氩气流量：200 slpm
吹扫流量�?00 slpm
合计�?00 slpm
推荐压力：＞4.5 kg/cm²
压缩空气
推荐压力：＞5.5 kg/cm²

控制系统
全自动生长控制过稊�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>标准PLC/PC控制

选项Options
多晶硅进料系绞�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>真空泴�br style="margin: 0px; padding: 0px; box-sizing: border-box;"/>真空过滤系统
取晶�?nbsp;
坩埚装卸系统