厂务要求Utilities
电源电压（Source Voltage）：380 V±10%
频率（Frequency）：50/60 Hz
加热功率(Heating Power）：165 KW底部加热50 kW
环境温度（Ambient Temperature）：5�?0
相对湿度（Relative Humidity）：�?0%
入口�?*水温(Maximum Inlet Temperature)�?7°F (25 �?
*小流量（Minimum Flow Rate）：50 gpm (185 L/min) total
入口出口压力差（Diff. Supply Pressure）：30 psi �?.1 kg/cm²（�/span>
主氩气流量（Mass Flow Control(Max.)）：200 slpm
吹扫流量(Purge Flow)�?00 slpm
合计（Facility Total）：300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure�?5 psi(5.3 kg/cm²（�/span>
压缩空气（Air（�/span>
推荐压力Recommended Supply Pressure�?0 psi(6.3 kg/cm²)