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全自动单/双面刷洗朹/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 苏州辰轩
产地9/td> 江苏
关注度: 514
型号9/td> 全自动单/双面刷洗朹/td>
产品介绍

|设备概述
全自动单/双面刷洗机由Loading、Unloading、晶圆机械手、刷洗、甩干单元等单体组成,通过晶圆机械手将晶片由Loading单元转移到刷洗工位,通过毛刷对晶片表面进行药液、二流体、纯水刷洗,清除晶片表面的微小粒子、/span>

|应用领域
应用于碳化硅(SiC)、硅(Si)、氮化镓(GaN)等半导体材料的刷洗,同时可用于蓝宝石、陶瓷、水晶等材料、/span>

|设备特点
?nbsp;晶圆机械手传输晶片过程精度高、稳定性高、/span>
?nbsp;可兼????寸晶片的刷洗、/span>
?nbsp;自动化操作无人工干预,避免二次污染、/span>
?nbsp;全封闭刷洗环境,避免环境污染、/span>
?nbsp;双刷洗工位,有效提高生产效率、/span>
?nbsp;实现干进干出的加工方式、/span>

|可选配?/span>
?nbsp;兆声波发生器
?nbsp;湿进干出装置
?nbsp;翻转装置,实现单面转双面刷洗

|设备参数

型号

CX-S6F

CX-S8F

上料工位

晶片尺寸

4?寷/span>

6?寷/span>

数量

2

2

感应装置

包含

包含

传输系统

传输方式

晶圆机械扊/span>

晶圆机械扊/span>

清洗、甩干单兂/span>

数量

2

2

药液喷洒装置

3

3

刷洗方式

PVA毛刷

PVA毛刷

固定方式

卡爪/真空吸附

卡爪/真空吸附

甩干方式

高速旋?/span>

高速旋?/span>

下料工位

数量

2

2

感应装置

包含

包含

控制系统

系统

PLC

PLC

显示

10.4寸彩色触摸屏

10.4寸彩色触摸屏

厂务

电源

AC220V 50Hz

AC220V 50Hz

尺寸

W1230mm * L1850mm * H2050mm

W1230mm * L1850mm * H2050mm

重量

?00Kg

?00Kg


问商宵/div>
  • 全自动单/双面刷洗机的工作原理介绍>/li>
  • 全自动单/双面刷洗机的使用方法>/li>
  • 全自动单/双面刷洗机多少钱一台?
  • 全自动单/双面刷洗机使用的注意事项
  • 全自动单/双面刷洗机的说明书有吗?
  • 全自动单/双面刷洗机的操作规程有吗>/li>
  • 全自动单/双面刷洗机的报价含票含运费吗>/li>
  • 全自动单/双面刷洗机有现货吗?
  • 全自动单/双面刷洗机包安装吗?
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苏州辰轩光电科技有限公司为您提供苏州辰轩全自动单/双面刷洗机,全自动单/双面刷洗机产地为江苏,属于其他,除了全自动单/双面刷洗机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供单面研磨系统、单面抛光系统、单面抛光机910/1300/1450
工商信息
企业名称

苏州辰轩光电科技有限公司

企业类型

信用代码

91320594551160094Y

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

分类

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