适用晶片

4 inch�? inch

抛光机下盗�/span>

尺寸

Φ872mm

材质

不锈钢盘&抛光�?/span>

电机功率

7kw

转速范図�/span>

5�?00rpm

*小转速控制量

1rpm（触摸屏中设定）

冷却

水冷式冰水机�?P（�/span>

盘温控制

0℃～50ℂ�/span>

修盘方式

人工调节，伺服自动修盗�/span>

抛光机上盗�/span>

控制方式

2轴独立控制，自动停止加工

抛头材质

SUS410（可按客户要求定做）

加压气缸

Φ100mm

压力范围

0�?00kg

控制精度

±1kgf（触摸屏中设定）

电机功率

0.75kw

转速范図�/span>

5�?00rpm

*小转速控制量

1rpm（触摸屏中设定）

抛光液供应系绞�/span>

供给方法

循环泵（流量可以调节并实时监控）

抛光液灌容量

20L（冷却、搅拌）

供液位置

中心供液

补液方式

人工补液

陶瓷盘固宙�/span>

半自动上料装置，陶瓷盘定位载其�/span>

去除玆�/span>

具体视工艺及材料而定

设备尺寸

W2200mm * L2250mm * H2100mm

设备重量

�?000Kg