其它无机材料

• 三氯化硼（BCl3（�/a>
• 三氟化硼（BF3（�/a>
• 乙硼烷（B2H6（�/a>
• 溴化氢（HBr（�/a>
• 无水氟化氢（HF（�/a>
• 二氯二氢硅（SiH2Cl2（�/a>
• 三氟甲烷（CHF3（�/a>
• 八氟环丁烷（C4F8（�/a>
• 氖气（Ne（�/a>
• 氪气（Kr（�/a>
• 氙气（Xe（�/a>
• 四氟化碳（CF4（�/a>
• 六氟化硫（SF6（�/a>
• 六氟乙烷（C2F6（�/a>
• 八氟丙烷（C3F8（�/a>

氧化铝粉

• 锗烷（GeH4（�/a>