微管密度� 0.2 cm ^-2电阻玆�/td>0.015-0.024 Ω·cm主定位边方向平行于{10-10} ±5.0°主定位边长度32.5 mm ± 2.0 mm次定位边长度18.0 mm ± 2.0 mm次定位边方向硅面朝上：从主定位边顺时针旋� 90° ± 5.0°边缘去除3 mm局部厚度变�?总厚度变�?弯曲�?翘曲�?/td>�?.5 μm/�? μm/�?5 μm/�?0 μm