项目

性能

参数

晶体参数

表面晶向

Surface orientation

4.0° toward [11-20]± 0.5°

4H晶型面积

areas

100%

边缘多晶

Edge polycrystal

旟�/p>

机械参数

直径(mm)

Diameter

150±0.1

参考面方向

Primary flat orientation

<11-20>±5.0°

参考面长度(mm)

Primaryflatlength

47.5±1.5

电学参数

电阻�?nbsp; (2 · cm)

Resistivity

0.01-0.03

掺杂剁�/p>

Dopant

N型掺�?/p>

缺陷参数

微管密度(�?cm2)

MicropipeDensity

�?.5

基平面位锘�/strong>BPD(�?cm2)

�?000

表面质量

裂纹

Cracks

旟�/p>