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WG-1281全自动减薄机
报价９span>面议
| 品牌９/td> | 宏华电子 |
| 产地９/td> | 广东 |
| 关注度： | 473 |
| 型号９/td> | WG-1281全自动减薄机 |
产品介绍
技术特点：
可加工碳化硅晶锭?*厚度 5000mm）、带框架的异形片及非标准?/6/8寸SiC晶片；磨轮直 Φ300mm?*减薄速率 0.9μm/s, 单片磨削时间 5 分钟：br style="box-sizing: border-box;"/> 单主轴单工位自动减薄机，在线测量方式（测量范?-1800μm? 离线测量方式（测量范 0-50000μm）可选；通过手动进行上片、卸片操作和油石手动清洗承片台、/span>
性能指标９/span>
| WG-1281全自动减薄机 | |||
| 磨削方式 | 通过旋转晶圆，实现纵向切入式磨削 | ||
| 结构方式 | 2根主? 3个承片台,1回转工作?/span> | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.Ø300(Φ8?Φ12? | |
| 磨轮直径 | mm | 专用砂轮 | |
| 主轴 | 主轴数量 | - | 2 |
| 主轴功率 | KW | 5.5 | |
| 主轴转逞/td> | rpm | 1000-6000 | |
| Z轴行稊/td> | mm | 120 | |
| Z轴分辨率 | µm | 0.1 | |
| 承片?/td> | 装片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片台类垊/td> | - | 多孔陶瓷????2? | |
| 转逞/span> | rpm | 0-300 | |
| 数量 | 奖/td> | 3 | |
| 减薄精度 | 片内厚度偏差 | µm | ? |
| 片间厚度偏差 | µm | ≤? | |
| 表面粗糙度Ra | µm | ?.02(#3000 wheel,) | |
| 粗磨Ring环精?/td> | µm | 3±0.15 | |
| 粗磨ring环精?/td> | µm | 3.5±0.15 | |
| 设备 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1450×3800×1900 |
| 设备重量 | kg | 4700 | |
问商宵/div>
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工商信息
企业名称
肇庆市宏华电子科技有限公司
企业类型
信用代码
91441200682437428C
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