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WG-1240 自动减薄朹/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 宏华电子
产地9/td> 广东
关注度: 641
型号9/td> WG-1240 自动减薄朹/td>
产品介绍

技术特点:

利用粗磨和精磨轨迹重合技术,显著提高了超薄晶圆磨削加工品质的稳定性,可实 12 英寸晶圆厚度100μm 以下精密减薄:br style="box-sizing: border-box;"/> 双主轴三工位全自动减薄机,可与单轴抛光机、保护膜处理设备组成联机系统,实现晶圆减薄到去应力技术的一体化;配备自主、优化的 12 英寸超精密空气主轴和气浮载台;具 SECS/GEM 联网功能、/span>

性能指标9/span>

WG-1240自动减薄朹/span>
磨削方式 通过旋转晶圆,实现纵?横向切入式磨剉/span>
结构方式 1根主? 1个承片台
磨削尺寸
mm Max.Ø300/Max.Ø200(Φ8?Φ12?
主轴 主轴数量 - 1
主轴功率 KW 5.5
主轴转逞/td> rpm 1000-6000
Z轴行稊/td> mm 120
Z轴分辨率 µm 0.1
承片?/td> 装片方式 - 真空吸附
承片台类垊/td> - 多孔陶瓷弎/span>
转逞/span> rpm 0-300
数量 奖/td> 1
承片台清洗方弎/td> - 油石手动清洗
承片台Y吐/td> Y向加工行稊/td> mm 400
Y向进刀速度 mm/s 0.01-50
Y轴快速位移速度 mm/s 100
Y?小分辨率 mm 0.001
减薄精度 片内厚度偏差 µm ?
片间厚度偏差 µm ≤?
粗磨Ring环精?/td> mm 3±0.15
设备 外形尺寸WxD×H mm 860×1847×1741
设备重量 kg ?700


问商宵/div>
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肇庆市宏华电子科技有限公司为您提供宏华电子WG-1240 自动减薄机,WG-1240 自动减薄机产地为广东,属于半导体行业专用仪器,除了WG-1240 自动减薄机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供片式电容四测试机、全自动薄膜丝印?、等静压?
工商信息
企业名称

肇庆市宏华电子科技有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91441200682437428C

法人代表

梁耀囼/p>

注册地址

肇庆市端州三?号内H幡/p>

成立日期

2008-12-02

注册资本

1555.0623万元人民?/p>

有效期限

2008-12-02 无固定期陏/p>

经营范围

研发、生产、销售:各类电子元器件、电子专用设备、仪器仪表。机电产品、电子材料、机械零部件的加工、销售。计算机技术服务。货物进出口、技术进出口 (上述项目不含工商登记前置审批事项)(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)

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