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型号 感应区域熔炉系统 LFT1200C-16VIM-QR
型号 区域熔融纯化设备 LFT1200C 100D50
型号 低真空系 LVU-10
型号 多通道质量流量控制系统 MFC-5Z
型号 双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50
型号 双温区滑轨式CVD系统(含预热器) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z
型号 单工位低真空封管机系 LSQ-01 LV600
型号 单工位高真空封管机系 LSQ-01 HV600
型号 2通道质量流量控制系统MFC-2Z
型号 4通道质量流量控制系统MFC-4Z
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