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双腔型高真空高速蒸镀系统
报价9span>面议
品牌9/td> 韫茂科技
产地9/td> 福建
关注度: 1599
型号9/td> QBT-I
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产品介绍

QBT-I 双腔室高真空高速蒸镀系统


微信图片_20220223154559.jpg

产品详情9/span>


上下双腔,集表面处理与蒸发镀膜为一?高效可靠的Indium蒸镀助手、/span>


技术参?/span>


QBT-I 技术参 Technical Specifications (Indium Bump等制?
高真空腔 HV Chamber 2个HV腔室,Loadlock离子束刻蚀及蒸镀,极限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr
排气速率Pumping Spead 从ATM?E-7Torr<15min (loadlock)
极限蒸发速率 High Depostion Rate 5-12nm/s (Indium), Ф100基板镀膜均一?lt;3%, 大容量坩埙/td>
精准的样品冷却控 Wafer Cooling -10-40 (精度±0.1(/td>
离子束清 Ion Milling 考夫曼离子源, Ф100基板刻蚀均一?lt;3%
人机界面 HMI 全自动化人机操作界面
安全Safety 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO


测试结果


微信图片_20220223154605.jpg

问商宵/div>
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统的工作原理介绍?
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统的使用方法?
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统多少钱一台?
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统使用的注意事顸/li>
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统的说明书有吗>/li>
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统的操作规程有吗?
  • 双腔型高真空高速蒸镀系统的报价含票含运费吗?
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  • 双腔型高真空高速蒸镀系统包安装吗>/li>
厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双腔型高真空高速蒸镀系统,双腔型高真空高速蒸镀系统产地为福建,属于实验设备,除了双腔型高真空高速蒸镀系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉体原子层沉积镀膜系统、公斤级粉末ALD
工商信息
企业名称

厦门韫茂科技有限公司

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信用代码

91350200MA31JEYQ4Y

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