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双倾角约瑟夫森结制备系绞/div>
报价9span>面议
品牌9/td> 韫茂科技
产地9/td> 福建
关注度: 2195
型号9/td> QBT-J
产品介绍

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系?nbsp; QBT-J

四腔?jpg

约瑟夫森结超高压系统


全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统专专业制备约瑟夫森结制备,可精确生长所需的金属层和氧化绝缘层,确保高性能制备及高成品率;此镀膜仪有进样室、氩离子清洗室、电子束 发室以及氧化室,共计四个高真空腔室,腔室间使用传样杆进行高真空传样,传递模组须采用抓取式设计;设备所有工艺均支持4英寸及以内的晶圆或不规则样品。设备整个工艺过程,可以完全按照用户设置的参数自动化运行,工艺流程包括并不限于:抽真空,监测气压,离子清洗,样品位置调节、传样,加热,电子束蒸发 定厚度设置,自动调整气压等、/span>


微信图片_20220224094931.jpg

技术参?/span>


QBT-J 技术参 Technical Specifications (双倾角约瑟夫森结制备)
超高真空腔体 UHV Chamber 4个UHV Chamber,包括Loadlock/Aneal, Ion Milling, Ebeam-Evaporation, Oxidation, 极限真空Ultimate Pressure<1E-9Torr
基板加热 Wafer Heating RT-900ℂ/td>
离子束清 Ion Milling 考夫曼离子源, Ion Energy 100-600eV, 100-1200eV, Ion Beam Current:20-200mA, Ф100基板刻蚀均一?lt;3%
电子束蒸 Ebeam Evaporation UHV 5 Linear Pocket Ebeam Evaporation Source, 8KW Power Supply
氧化 Oxidation Flow and Static Mode Oxidation
基板操控能力 Wafer Tilt and Rotation 可实?80度倾斜?60度旋转,0.1度的精准控制
基板传输 Wafer Transfer 高度可靠和可重复的基板传输能劚/td>
人机界面 HMI 全自动化人机操作界面
安全Safety 工业标准安全互锁Industry Safety Interlock,报警Alarm,EMO








问商宵/div>
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  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的使用方法>/li>
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统多少钱一台?
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  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的说明书有吗?
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  • 双倾角约瑟夫森结制备系统的报价含票含运费吗>/li>
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统有现货吗?
  • 双倾角约瑟夫森结制备系统包安装吗?
厦门韫茂科技有限公司为您提供韫茂科技双倾角约瑟夫森结制备系统,双倾角约瑟夫森结制备系统产地为福建,属于实验设备,除了双倾角约瑟夫森结制备系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供超高真空多腔体磁控溅射系统、公斤级粉体原子层沉积镀膜系统、公斤级粉末ALD
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企业名称

厦门韫茂科技有限公司

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91350200MA31JEYQ4Y

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