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单温区PE-CVD系统
报价9span>面议
品牌9/td> 科幂
产地9/td> 安徽
关注度: 41
型号9/td> 单温区PE-CVD系统
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产品介绍

产品特点

高性能射频电源.等离子体更稳定;

滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区;

可实现快速升温和降温功能;与传统CVD相比较,生长温度更低、/span>

技术参?/span>

项目 型号 TFE - 1200 - 50 - 220
**温度 1150℃(短期(/span>
额定温度 1100ℂ/span>
推荐升温速率 ?0?min
控制精度 ±1ℂ/span>
炉管尺寸 Φ30/50/60*1200mm
炉膛尺寸 Φ80*220mm
加热区长?/span> 220mm
恒温区长?/span> 80mm
加热元件 优质国产电阻东/span>
额定功率 3KW
供气系统

三路高精度MFC

量程0-500sccm(可定制(/span>

射频电源

射频功:5-500W:/span>

射频频:13.56MHz:/span>

匹配方式:自动匹酌/span>

真空系统 双级旋片真空泵(可定制扩散泵 分子泵等(/span>
外形尺寸 1250*510*810mm


问商宵/div>
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安徽科幂仪器有限公司为您提供科幂单温区PE-CVD系统,单温区PE-CVD系统产地为安徽,属于其他,除了单温区PE-CVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供聚酯反应釜装置、MSI智能型快开式机械搅拌反应釜、实验级回转炉
工商信息
企业名称

安徽科幂仪器有限公司

企业类型

信用代码

91340100095928230X

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