一、技术参数：

结构形式 正排量风朹�/p>

体积流量 110止于15.570m3/h

介质 空气 , 中性气� , 腐蚀性气佒�/p>

输�?nbsp; 无油

FINAL VACUUM **表压（单位：10^-5mbar（�/p>

PRESSURE DIFFERENCE **表压（单位：10^-5 - 200mbar（�/p>

二、概述：

适用于工业高真空技术的正排量风机、�/span>

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 设计）和腐蚀性（CM 设计）气体，用于工业高真空技术� 此系列的特点是高能效和高可靠性、�/p>

适用于腐蚀性气体的 CM 系列版本９�/h4>

• AERZEN CM 系列共可� 14 种结构尺寸，适用的理论进气流量范围从 110 m³/h � 15,340 m³/h，适用的压力范围在 10^-5 mbar **压力以内� 产品优势一览：

• 通过 ATEX 0 区认证（内部（�/p>

• 4 种不同电机变体，实现**选择

• 机械负载较高（高� 150 mbar），因此缩短了泵送时闳�/p>

• 仅消耗极少水、氮和油

• 适用于净室环境应�?/p>

• 借助变频器实现较大的控制范围（从 1.450 � 7.400 rpm，或� 1.240 � 2.900 rpm（�/p>

• 可选择纵向或水平输送方吐�/p>

适用于中性气体的 HM 系列版本９�/h4>

• AERZEN HM 系列可� 9 种结构尺寸，� 10^-5 mbar �?*真空压力条件下，适用的理论进气流量范围从 406 m³/h � 15,570 m³/h� 产品优势一览：

• 4 种不同电机变体，实现**选择

• 机械强度较高（HM 系列高达 230 mbar），因而大幅缩短泵送时闳�/p>

• 耗水量、耗氮量低

• 适用于净室环境应�?/p>

• 借助变频器实现较大的控制范围，各项参数针� AERZEN 密闭式电机鼓风机进行过调整，卓有成效

• 可选择纵向或水平流动方吐�/p>

三、性能９�/span>

AERZEN 密闭式电机鼓风机大幅缩短泵送时间，从而提高了产量� 这是工艺优化的一大进步、�/p>

设计与结枃�/h4>

AERZEN 真空泵的壳体法兰之处配有 O 形圈密封件� 风机头还有真空密闭性和空气冷却等其他重要优势� 由溅油润滑装置提供润滑油� 矿物油和 PFPE 油都可以作为润滑剂，PFPE 油通常用于半导体技术� 密闭式电机鼓风机在输送室和轴承室配有专用的矩形圆环—迷宫—密封件� 另外还安装了一个配有冷凝通道的大尺寸中和室� 或者，中和室可以用密封气体冲洗，以实现更强的密封效果� 一体化密闭式电机可确保对驱动轴的密封� 因此无需连接大气的轴通道，从而可以从技术上实现明显更高的转速、�/p>

四、应用：

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 系列）和腐蚀性（CM 系列）气体，专用于工业高真空技术� 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使�?�?nbsp;
此前级泵在大气压力条件下开始运行� 通常在大� 50 � 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机，然后泵送流程启动�?nbsp;根据应用的不同，可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵� 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时，前级泵也可以在大气压力条件下运行、�/p>

应用领域

• 半导体行丙�/p>

• 微电子工丙�/p>

• 平面屏幕制速�/p>

• 激光技�?/p>

• 太阳能技�?/p>

• 氦检漏装�?/p>

• 化学工艺技�?/p>

• 箔纸和玻璃喷漅�/p>

• 熔炉制速�/p>

• 氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时，必须配备额外的前级泵（多级系统）、�/p>