靶材

Au靶为标配，可逈�/span>Pt，直徃�/span>57mm x 0.1mm厙�/span>

标准样品�?/span>

可以装载12�?/span>SEM样品座，高度可调范围丹�/span>60mm

旋转倾斜样品台（选配（�/span>

旋转速度９�/span>0~60rpm连续可调，倾斜角度９�/span>-90°~ 90°连续可调：�/span>

不锈钢腔体：直径120mm X髗�/span>75mm：�/span>

观察窗：直径120mm X髗�/span>45mm：�/span>

标配旋转台直徃�/span>40mm，可攽�/span>4个标准样品台＋�/span>其它规格可订做；具有双重锁紧装置＋�/span>可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落、�/span>

溅射电流

微处理器控制＋�/span>安全互锁，可调，电流5~30mA，程序化数字控制

计量�?/span>

真空９�/span>Atm-1*10-3mbar，电流：0~99mA

控制方法

带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器＇�/span>1，�/span>999s），自动抽气、溅射、关机后自动放气、�/span>

真空系统

抽气速率

133L/MIN

极限真空

10-4mbar�?/span>

噪音

56dB