6�?9日至7�?日，国际半导体展（SEMICON China 2023）在上海新国际博览中心隆重举办。SEMICON China是全球规模最大、最具影响力的半导体行业盛会，囊括了全球主要的半导体设备及材料厂商。中科科仪作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者，在此次展会中展示了领先的电子光学与真空技术、半导体检测设备与核心零部件产品及解决方案、�/p>

在半导体产业中，检测设备及核心零部件扮演着至关重要的角色，是实现半导体器件高精度制造和高可靠性的关键组成部分。中科科仪作为国内一家在扫描电子显微镜领域持续耕�?0余年的企业，成功研制多款扫描电子显微镜并于近年来研制出国内首台场发射枪扫描电子显微镜，打破国外技术垄断，解决了我国半导体等高端装备制造领域检测设备依赖进口的“卡脖子”问题，在晶圆检测、线宽测量、半导体器件失效分析等方面有着广泛应用、�/p>

真空环境是半导体生产过程的基本条件，半导体前道工艺中的刻蚀、离子注入、薄膜沉积等都需要在真空环境中进行，真空获得产品是半导体装备的核心零部件。磁悬浮分子泵是技术水平最高的超高真空获得产品，中科科仪研制了国内第一台磁悬浮分子泵并形成了系列化产品，其中半导体系列磁悬浮分子泵已通过多个头部半导体装备厂家的长期严苛工艺验证，实现了批量销售。目前，中科科仪在半导体领域积累了多年的产品应用经验，对半导体工艺要求有了深入的理解，可根据客户需求进行定制化设计和生产，满足进口产品国产化替代和国内半导体装备的使用要求、�/p>

半导体产业是一个关键战略性产业，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。未来，中科科仪将持续加大研发投入，深耕电子光学及真空技术，为客户提供专业可靠的产品及服务，与产业链上下游企业一道共同推动和见证中国半导体产业的崛起�?/p>

展会还在继续，欢迎您莅临SEMICON China 2023 中科科仪展位（E7� E7146），与我们交流探讨半导体检测设备及核心零部件国产化解决方案，期待与您相约上海新国际博览中心�?/p>

关于中科科仪

北京中科科仪股份有限公司（简称中科科仪），前身为中国科学院科学仪器厂，始建于1958年，是中国科学院首家事业单位整体转改制企业。中科科仪是中国尖端科学仪器装备及真空技术领军企业，业务领域覆盖扫描电子显微镜、氦质谱检漏仪等科学仪器装备和分子泵、真空应用设备等核心零部件及产业设备�?0年代，研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵和第一台商用氦质谱检漏仪。近年来，成功研制出国内首台场发射枪扫描电子显微镜、首台磁悬浮分子泵，均达到国际先进水平�?008年被评为国家级高新技术企业，2014年被评为国家级企业技术中心，2021年获评国家级“专精特新”小巨人企业称号�?022年获评国家级制造业“单项冠军”示范企业称号。是中国通用机械工业协会副会长单位，中国真空学会副理事长单位，集成电路零部件产业技术创新联盟副理事长单位，北京真空学会理事长单位、�/p>

资料来源：企业公众号