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1200℃双管滑动式单温?多温区CVD系统
报价９span>面议
品牌９/td> 中环
产地９/td> 天津
关注度： 4727
型号９/td> 1200℃双管滑动式单温?多温区CVD系统
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可视化高温形变分析仪TA-1601

1600℃多温区梯度管式电炉

1800℃不锈钢节能箱式电炉
产品介绍

产品用途：

此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计，特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔

电极方面的研究，通过滑动炉实现快速加热和冷却、/p>

产品组成９/strong>

CVD系统配置９/p>

1.1200度开启式真空管式炉（可选配单温区及双温区）、/p>

2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配有风冷系统、/p>

3.内外双石英管，采用真空可通气氛双法兰特殊连接、/p>

4.多路气体流量控制系统（质子流量控制器和浮子流量控制器（/p>

5.真空系统（可选配中真空或高真空）

产品特点９/strong>

产品独特?/p>

1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单、/p>

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产?*设计,提高操作便捷性、/p>

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵，防止意外漏氓span style="box-sizing: border-box; animation-fill-mode: both; font-size: 12pt;">造成分子泵损坏，延长系统使用寿命、/span>

4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动，等程序完成，炉体按设定的速度滑动，因有滑动限佌span style="box-sizing: border-box; animation-fill-mode: both; font-size: 12pt;">功能，炉体不会发生碰撞，待样品露出炉体后，通过风冷系统快速降温、/span>

5 双管真空密封法兰，反应气体可以在内外管之间发生反应，冷却气体可通过内管，从而使内管外壁温度降低、/p>

系统名称

1200℃双管滑动式?多温区CVD系统

系统型号

CVD-12II6SH-3Z/G

CVD-12III9SH-3Z/G

**温度

1200ℂ/p>

加热区长?/p>

610mm

940mm

恒温区长?/p>

400mm

700mm

温区

双温匹/p>

三温匹/p>

石英管管徃/p>

内管：?0mm 外管：?00mm

额定功率

4.8Kw

7.2Kw

额定电压

220V

380V（三相）

滑动距离

485mm

650mm

滑动方式

手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动，当程序完成，炉子按设定的速度滑动（/p>

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温；

控制精度

±1ℂ/p>

炉管**工作温度

?200ℂ/p>

双管法兰连接

采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能，并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需?*次使用设备的时候安裄/p>

气体控制方式

质量流量讠/p>

气路数量

3路（可根据具体需要选配气路数量（/p>

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标宙/p>

精度

±1%F.S

响应时间

?sec

工作温度

5-45ℂ/p>

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力）

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真穹/p>

系统真空范围

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泴/p>

真空分子泵理论极限真空度
5x10-6Pa抽气速率1600L/S
额定电压220V 功率2Kw

炉体外形尺寸

480×770×605mm

410×1100×605mm

系统外形尺寸

530×1440×750mm(不含高真?

系统总重野/p>

340Kg


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工商信息
企业名称

天津中环电炉股份有限公司

企业类型

信用代码

91120113700587236G

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成立日期

注册资本

有效期限

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