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1200℃滑动式单温?双温?三温区CVD系统
报价9span>面议
品牌9/td> 中环
产地9/td> 天津
关注度: 3678
型号9/td> 1200℃滑动式单温?双温?三温区CVD系统
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>其他

温控精度9span>±1ℂ/span>

最高温度:1200

额定温度9span>1200

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产品介绍

产品用途:

此款CVD系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可?/p>

生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结真空淬火退火,快速降温等工艺实验、/p>

产品组成9/strong>

CVD系统配置9/p>

1.1200度开启式真空管式炉(可选配多温区)、/p>

2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配有风冷系统、/p>

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(可选配中真空或高真空)

产品特点9/strong>

控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单、/p>


中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气速span style="box-sizing: border-box; animation-fill-mode: both; font-size: 12pt;">成分子泵损坏,延长系统使用寿命、/span>

(电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能炉体不会发生碰撞,待样品露出炉体后,通过风冷系统快速降温、/span>




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工商信息
企业名称

天津中环电炉股份有限公司

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91120113700587236G

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