超高温碳化物沉积炉技术特�?/h3>

采用先进的控制技术，能精密控制H₂、C₃H₆的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动小：�/span>

全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好：�/span>

多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好：�/span>

可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率低；

适于工艺气氛：真�?H₂/N₂/Ar/C₃H₆/ZrCl₄/HfCl₄/BCl₃/TaCl₅/ZrB₂/HfB₂/TaB₂、�/span>

超高温碳化物沉积炉产品规栻�/h3>

参数\型号	HCVD-101015-ZrC	HCVD-152023-ZrC	VCVD-0608-ZrC	VCVD-0812-ZrC	VCVD-1120-ZrC	VCVD-1218-ZrC	VCVD-1520-ZrC
工作区尺� W×H×L（mm（�/td>	1000×1000×1500	1500×2000×2300	600×800	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
**温度（℃（�/td>	2000	2000	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±10/±15	±15/±20	±5/±7.5	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	±15/±20
极限真空度（Pa（�/td>	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h（�/td>	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、�/p>

超高温碳化物沉积炉配置选择

结构形式：卧�?单开�?双开门；立式-上出�?下出斘�/span>

炉门锁紧方式：手�?自动

炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢

保温材质：碳�?石墨�?碳纤维固化毡

加热器、马弗材质：石墨/CFC

热电偶：C/S分度叶�/span>

红外仪：单比�?双比艱�/span>

真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组