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立式化学气相沉积炉(SiC、BN(span>新品
报价9span>面议
品牌9/td> 顶立科技
产地9/td> 湖南
关注度: 5564
型号9/td> VCVD
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件9span>其他

烧结气氛9span>真空

温控精度9span>±5

最高温度:1500

额定温度9span>1500

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产品介绍

立式化学气相沉积炉(SiC、BN(/p>

  • 产品描述9/p>

  • 立式化学气相沉积炉(SiC、BN)可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等

  • 应用范围9/p>

  • 外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料筈/p>


技术特?/h3>

采用先进的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小:/span>

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好:/span>

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好:/span>

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低:/span>

使用工艺气氛:真?CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS、/span>


产品规格

参数\型号 VCVD-0305-SIC VCVD-0608-SIC VCVD-0812-SIC VCVD-1120-SIC VCVD-1520-SIC
工作区尺寸D×H(mm(/td> 300×500 600×800 800×1200 1100×2000 1500×2000
**温度(℃(/td> 1500 1500 1500 1500 1500
温度均匀性(℃) ±5 ±7.5 ±7.5 ±10 ±10
极限真空度(Pa(/td> 1-100 1-100 1-100 1-100 1-100
压升率(Pa/h(/td> 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
加热方式 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准、/p>


配置选择

结构形式:卧?单开?双开门;立式-上出?下出斘/span>

炉门锁紧方式:手?自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳?石墨?碳纤维固化毡/陶瓷纤维毠/span>

加热器、马弗材质:石墨/CFC/金属

热电偶:K/N/C/S分度叶/span>

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组



问商宵/div>
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工商信息
企业名称

湖南顶立科技股份有限公司

企业类型

其他股份有限公司(非上?

信用代码

91430100788042096T

法人代表

戴煜

注册地址

中国(湖南)自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地(长龙街道)凉塘东?271叶/p>

成立日期

2006-05-25

注册资本

3989.2752万人民币

有效期限

2006-05-25 无固定期陏/p>

经营范围

许可项目:第二类医疗器械生产;第三类医疗器械生产;第三类医疗器械经营(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)一般项目:新材料技术研发;新材料技术推广服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;工业设计服务?D打印服务?D打印基础材料销售;增材制造;石墨及碳素制品制造;石墨及碳素制品销售;合成材料制造(不含危险化学品);高性能纤维及复合材料制造;高性能纤维及复合材料销售;金属材料制造;非金属矿物制品制造;非金属矿及制品销售;金属基复合材料和陶瓷基复合材料销售;锻件及粉末冶金制品制造;锻件及粉末冶金制品销售;金属表面处理及热处理加工;机械电气设备制造;机械设备研发;机械设备销售;机械设备租赁;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);冶金专用设备制造;冶金专用设备销售;环境保护专用设备制造;环境保护专用设备销售;泵及真空设备制造;泵及真空设备销售;智能基础制造装备制造;智能基础制造装备销售;烘炉、熔炉及电炉制造;烘炉、熔炉及电炉销售;增材制造装备制造;增材制造装备销售;非居住房地产租赁;货物进出口;技术进出口;第二类医疗器械销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)、/p>

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