金牌会员
已认?/p>
| 品牌９/td> | 顶立科技 |
| 产地９/td> | 湖南 |
| 关注度： | 4599 |
| 型号９/td> | SiC、BN |
额定温度９span>1500
非金属电热元件：其他
金属电热元件９span>其他
烧结气氛９span>真空
温控精度９span>±7.5
最高温度：1500
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN（/p>
产品描述９/p>
卧式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围９/p>
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料筈/p>
技术特?/h3>
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小：/span>
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好：/span>
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好：/span>
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低：/span>
使用工艺气氛：真?CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS、/span>
产品规格
| 参数\型号 | HCVD-060609-SIC | HCVD-101015-SIC | VCVD-121220-SIC | HCVD-151530-SIC | HCVD-252035-SIC |
| 工作区尺寸W×H×L（mm（/td> | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 2500×2000×3500 |
| **温度（℃（/td> | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa（/td> | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h（/td> | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、/p>
配置选择
结构形式：卧?单开?双开门；立式-上出?下出斘/span>
炉门锁紧方式：手?自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳?石墨?碳纤维固化毡/陶瓷纤维毠/span>
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度叶/span>
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
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湖南顶立科技股份有限公司
其他股份有限公司(非上?
91430100788042096T
戴煜
中国（湖南）自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地（长龙街道）凉塘东?271叶/p>
2006-05-25
3989.2752万人民币
2006-05-25 无固定期陏/p>
许可项目：第二类医疗器械生产；第三类医疗器械生产；第三类医疗器械经营（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：新材料技术研发；新材料技术推广服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；工业设计服务?D打印服务?D打印基础材料销售；增材制造；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品销售；合成材料制造（不含危险化学品）；高性能纤维及复合材料制造；高性能纤维及复合材料销售；金属材料制造；非金属矿物制品制造；非金属矿及制品销售；金属基复合材料和陶瓷基复合材料销售；锻件及粉末冶金制品制造；锻件及粉末冶金制品销售；金属表面处理及热处理加工；机械电气设备制造；机械设备研发；机械设备销售；机械设备租赁；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；冶金专用设备制造；冶金专用设备销售；环境保护专用设备制造；环境保护专用设备销售；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售；智能基础制造装备制造；智能基础制造装备销售；烘炉、熔炉及电炉制造；烘炉、熔炉及电炉销售；增材制造装备制造；增材制造装备销售；非居住房地产租赁；货物进出口；技术进出口；第二类医疗器械销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）、/p>
